含氟废气的净化含氟烟气具有烟气量大、含氟浓度低、组成复杂、含尘量高的特点。对含氟气体的粉尘的处理，主要有湿法和干法两种。

        1、湿法除氟：采用液体吸收剂从烟气中吸收氟化氢、四氟化硅等，分离出来的含氟溶液加以处理制成氟化物，可以回收利用。由于氟化物水溶性很强，吸收很快，可收到很好效果。国内湿法除氟的工艺，采用先除尘，再经吸收塔、脱水塔、去沫塔至热风炉，最后由烟囱排放，净化率可达90%以上，如经多级吸收可达95%。含氟废水用钙盐处理，澄清液可循环使用，沉淀可回收氟化物。湿法除氟设备复杂，费用高，腐蚀严重，有二次污染，国外逐渐用干法取代。

        2、干法除氟：国外在铝行业中已普遍应用干法净化技术。美国、日本等在钢铁磷肥行业中大量采用氧化钙干法除氟。干法除氟净化流程简单，处理烟气量大，除氟效率高(一般大于98%),不排含氟废水，无二次污染和设备腐蚀等问题，基建费用和运行费用都较低。净化剂要选择净化性能好，价廉易购的药剂。

        含氟废水的处理主要有三种。

        1、氟化钙沉淀法：钙盐沉淀法广泛用来除氟。在含氟废水中加入钙盐，使之生成难溶性氟化钙沉淀。此法适用于处理含氟高的废水，处理后的含氟量可降至12～13毫克/升，另外氟化钙沉淀还可再处理回收。

        2、凝聚沉淀法：此法不需特殊设备，费用较低，但占地面积大，不易连续操作和实行自动化。在实际应用中常用明矾来除去饮用水中的氟，但明矾的用量很大；聚丙烯酰胺是一种理想的凝聚剂，能使沉降速度加快，固液分离效果明显提高，且泥渣量少，但药剂价格较高。

        3、活性铝矾土吸附法：活性铝矾土具有很强的吸附能力，经它处理后可将含氟量降。