电子半导体废水处理方法有哪些?
电子半导体的快速发展是工业和企业发展的驱动力,促进了经济和社会的发展。然而,随着制造业的扩大,加工厂的增加,电子半导体废水的排放量增加,半导体废水不能随意排放。半导体工业是一个非常依赖水资源的行业,也是一个耗水量大的行业。特别是在水资源有限的情况下,限水和缺水给半导体制造商的运营带来了巨大的压力。
因此,半导体生产企业节水的研究和实践有助于提高用水效率,降低用水成本。目前,节约用水和中水回收,废水回收已经成为半导体经营者应对缺水危机的重要措施,尤其是废水的回收,不仅可以降低对水资源的需求,还可以降低企业的生产成本,减少对环境的污染。
电子半导体废水处理方法有很多,如生化、物理、物化、化学等。可以根据半导体废水的水质进行处理,但吸附、冷冻、离子交换树脂、超滤、电渗析等。废水处理成本相对较高,废水去除达标排放率相对较低。电子半导体生产工艺复杂,工艺步骤有很多步,同时使用各种化学试剂和特殊气体。主要生产工艺包括硅片清洗、氧化、扩散、化学气相沉积、光刻、脱胶、干刻蚀、湿刻蚀、离子注入、金属化镀膜、化学机械抛光等。