随着电子信息产业的迅速开展，其症结原资料光敏剂的市场需求越来越大。光敏剂是光刻胶产品消费中最重要的中心原料之一，消费的光刻胶普遍应用于光电信息产业的微细图形线路的加工制造，是微细加工技巧的症结性资料。

半导体材料废水起源，重要是光刻胶和精致化学产业链相关产品，废水中重要净化物为盐分、COD、苯、甲苯、石油类、总氮等净化物，分为高浓度有机废水、低浓度有机废水、高盐废水等。关于高浓度有机废水先进行预处理方能进行后续生化处理，高盐废水需进行脱盐处理前方能进入后续生化处理。关于低浓度废水可与经过预处理后的高浓度废水和高含盐废水混杂落后行生化处理。经过生化处理后的废水还需进行深度处理确保达标前方能排放。因而，半导体资料污水处理站的总体工艺为预：

处＋UASB＋A/O＋氧化积淀。

半导体材料废水处理工艺（一）高浓度有机废水预处理：

因为高浓度有机废水有机物浓度高，可生化性差，为便于后续的生化处理，拟对其进行预处理。依据废水水质特征，拟采取气浮＋铁碳微电解＋Fenton氧化处理。

（1）气浮工艺：

斟酌到半导体资料废水中含有肯定的石油类物资及悬浮物，气浮池重要是应用少量微气泡扑捉吸附渺小颗粒胶黏物使之上浮，到达固液分别的后果。在气浮池中投加破乳剂等使废水中的石油类物资破乳、油脂上浮，从而到达除油的目标。经气浮池处理后水中COD 的去除率可以到达10%，SS 的去除率可以到达80％。

（2）铁碳微电解＋Fenton氧化：

铁碳微电解因其具备应用规模广、处理后果好、应用寿命长、老本昂贵及操作保护不便等长处，被普遍用于染料消费废水、农药废水、医药废水及电镀废水的管理。铁屑和炭造成了许多渺小的原电池，反映生成的重生态的【H】等具备很高的活性，可以跟废水中多种组分发作氧化复原反映。但铁碳微电解独自处理高浓度有机废水的才能有限，联合Fenton试剂对其处理后果进行强化可大大改良对有机物的去除后果，过氧化氢与二价铁离子的混杂溶液造成Fenton试剂，具备强氧化性，氧化后果明显。可以应用Fe－C组成的无数微电池作为复原体系将废水中的有机物复原、损坏掉；因为微电解历程发作Fe（Ⅱ），催化H2O2生成强氧化性的·OH，进而氧化损坏有机物；在这个历程中Fe（Ⅲ）的絮凝作用可以节俭H2O2的应用量，下降处理老本。

因而，选用铁炭微电解＋Fenton作为高浓度有机物的预处理工艺，可以进步处理后果，使难降解有机物进一步断链、开环，进步废水可生化性。经铁炭微电解＋Fenton处理后，废水中COD、SS、甲苯的去除率分手可以到达50%，60%和80%。 

（二）综合废水处理体系：

经预处理后的高盐废水和高浓度有机废水与其余废水一同进入综合调理池，进行水质和水量的调理，再经UASB＋A/O＋氧化积淀等处理后达标排放。

（1）UASB池

升流式厌氧塔（UASB）结构简朴、废水处理才能大、废水处理效力高级特征。反映塔上部设有三相分别器。固液混杂液进入积淀区后，污泥发作絮凝，颗粒逐步增大，并在重力的作用下积淀。积淀在斜壁上的污泥沿着斜壁滑回反映器中，使厌氧区积攒少量污泥。分别出污泥后的处理水从积淀区溢流堰上部泥溢流，而后排出。在厌氧反映塔内发作的沼气回升，当遇到反射板时折向反射板的周围，而后穿过水层进入气室，集中在气室的沼气用管道导出。

（2）A/O池

A/O池分为缺氧段和好氧段，在缺氧段异养菌将污水中的大分子碳水化合物等悬浮净化物和可溶性有机物进一步水解为有机酸，使大分子有机物进一合成为小分子有机物，不溶性的有机物转化成可溶性有机物，当这些经缺氧水解的产物进入好氧池进行好氧处理时，可进步污水的可生化性及氧的效力；在缺氧段，异氧菌的反硝化作用将回流的NO3－复原为分子态氮（N2）实现C、N、O在生态中的循环，实现污水无害化处理。

（3）氧化积淀

为了保障废水的稳固达标，在生化体系出水之后设置深度处理体系。深度处理单元采取氧化积淀工艺，通过投加药剂使废水中发作Fenton氧化，进一步去除废水中的有机物和悬浮物，保障出水稳固达标。